Дегазация

Введение

Суммарный поток натекания Q и эффективная скорость откачки вакуумных насосов S определяют давление в вакуумной системе:

P=Q/S+P₀

P₀ – предельное остаточное давление системы откачки.

В частности, в ускорителях заряженных частиц, эффективная скорость откачки S варьируется от 1 до 1000 л/с, в то время как поток натекания Q может изменяться на 10 порядков ≈10^-5…10^-15 мбар·л/с·см².

Правильный выбор материалов и способов подготовки поверхности является основополагающим фактором при проектировании вакуумной установки.

Определение скорости газовыделения является важнейшей задачей при работе с системами высокого и сверхвысокого вакуума.